Лампа ДРКс-1500М дуговая, разрядная, сверхвысокого давления, ультрафиолетовая, непрерывного действия, применяется в микрофотолитографии для установок проекционной пошаговой мультипликации. Используется в проекционных установках предназначенных для совмещения и помодульного экспонирования полупроводниковых пластин при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники. Применяется в установках ЭМ-584, ЭМ-5084Б и установках ASML, Nikon и др. Так же используется при производстве печатных плат высокой плотности соединений(HDI).
Мощность (номинальная) | 1500 Вт. |
Мощность излучения излучения в диапазоне длин волн 350-450nm (Вт.) | 143 |
Интенсивность излучения в диапазоне длин волн 350-450nm (mВт\стрд) | 13400 |
Напряжение на лампе | 34 В. |
Ток лампы | 45 А. |
Рабочее положение вертикальное анодом вверх допустимое отклонение от вертикали ±15° |